北京科创鼎新真空技术有限公司

半导体氦检漏设备的行业须知【科创真空】

2021-06-21







氦气检漏的主要参数及优势

1、关键零部件全球集优采购,保证了系统的稳定性和可靠性;

2、真空箱内氦气本底抑零,保证了检漏的准确性、;

3、特有的清氦系统,快速有效地清除超标的氦本底,保证检测的稳定性和准确性;

4、实时监测氦气压力和浓度,保证了工件检测的精度;

5、可对使用过程中产生的浓度不合格氦气进行提纯,极大降低氦气损耗(功能可选);

6、可同时检测多工件,并能按照需求自动判断出具体的有漏工件;

7、专业定制的的密封接头,稳定可靠,减少误判。

8、触摸屏实时显示监测数据和运行参数,监控一目了然。

9、电气控制系统的连锁保护及声光报警功能,确保了系统的操作安全及可靠运行。

今天和大家分享的是氦气检漏的主要参数及优势,希望对您有所帮助!










用氦气作为氦质谱检漏气体的原因

选择示漏气体(示踪气体)的原则是:它在空气中及真空系统中的含量低;检漏仪对示漏气体的灵敏度高;它不会对人员、环境、被检件及检漏仪造成污染、伤害和安全隐患;价格低。

质谱检漏仪通常选择氦气作示踪气体,主要原因如下:

1、氦在空气中及真空系统残余气体中的含量极1少(在空气中约含5.2ppm),在材料出气中也很少,因此本底压力小,输出的本底电流也小。正因为本底小,由某些原因引起本底的波动,亦即本底噪声也就小,因此微小漏率也就能反应出来,灵敏度高。

2、氦的质量小(相对分子质量为4),易于穿过漏孔。这样,氦较除氢以外的其他气体通过同一漏孔的漏率就大,容易发现,灵敏度高。

3、氦是惰性气体,不与被检件器壁起化学反应,不会污染被检件,使用安全。

4、在氦两侧的是氢(质荷比为2)和双电荷原子碳(质荷比为6),质荷比都与氦相差较大。这样,它们在分析器中的偏转半径相差也大,容易分开,定标找氦峰时,不易受其他离子的干扰,因此就降低了对分析器制造精度的要求,易于加工。同时,分析器出口电极及离子源加速极的隙缝也可以加大,使更多的氦离子通过,提高了仪器灵敏度。首先是设备在运往用户工厂后根据技术协议逐条验收,之后进行操作、维修等技术培训,验收合格后双方签字生效。

5、氦在被检件及真空系统中不易被吸附。这样检出一个漏孔可以使氦信号迅速消失以便继续进行检漏,提高了仪器的检漏效率。

6.氢气有些性能(如质量小、易通过漏孔)比氦还好,然而由于氢一方面有易1爆危险,另一方面在油扩散泵中,由于油受热裂解会产生大量的碳和氢,使氢本底极高且波动大,以致灵敏度大大降低,所以很少采用。

科创真空专业生产氦气检漏仪,如果您想了解更多您可拨打图片上的电话进行咨询,科仪创新竭诚为您服务!









空调检漏设备

以下内容由科创真空为您提供服务,希望对同行业的朋友有所帮助。

主要应用于家用空调冷凝器、蒸发器、压缩机、截止阀和冰箱、冷柜、雪融机等制冷行业产品,大部分采用多工位设置、箱外充氦、箱内检测的方式。

技术参数参考

检测精度:冷媒2克/年;

检测节拍:多箱联动 20S~60S/箱

真空箱内腔尺寸:根据被检工件外形及尺寸定制;

抽空充氦方式:真空箱外抽空充氦;

开门方式:斜提拉式/抽屉式/垂直提拉式;

氦气回收率:98%;

控制方式:PLC控制,触摸屏操作;

自动化程度:人工连接工件后,启动设备后,各工位自动判别、自动检测;

安全保护:光栅保护、电气互锁保护、层级密码控制、声光报警

主要配置:关键元器件全部进口品牌